CUBE-100台式扫描电镜

CUBE-100台式扫描电镜

添加时间:2016-11-28 13:38:00

【简介】

驰奔-E系列钨灯丝扫描电镜产品线,包含CUBE、GENESIS、VERITAS三种规格,采用统一的优良电子光学技术,具有相同的分辨率性能和图像质量,涵盖市场用户各种配置需求。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪,实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构,方便3D重构。

Cube台式扫描电镜,便携式桌面安放扫描电镜,标准配置五轴优中心样品台,样品室可同时接配SE、BSE、EDS等探测器。

Cube-100标配二次电子探测器,五轴全手动优中心样品台



【主要特点】:

 ● 大型扫描电镜高分辨性能

 ● 精密五轴手动样品台,成熟的Genesis专利的优中心结构、轻易实现3D重构。

 ● Se探测器进行精确表面形貌观察

 ● Se探测器具有Bse电子接收模式

 ● 体积小巧,移动灵活

 ● 超高性价比

【适用范围】:

     扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。


     Cube-100 适合批量样品分析测试微区形貌。



【安装示意图】


【性能指标】:

型号

Cube-100

样品台

五轴优中心,全手动

-X:  40mm   

-Y:  40mm  

-R:  360°无限   

-Z:   5-20mm

-T:  ±20°    

电子枪

预对中钨灯丝,三极自动偏压

加速电压

200V-20KV (最大发射电流190μA @ 20KV/最大电子枪功率:3.8W)

探测器

ET-SED

物镜光阑

20μm 单光阑 

分辨率

5nm @ 20KV  4nm @30KV)

放大倍数

20-200,000 X

样品室

内部尺寸 120 (W)x120(D) x120HmmSeBseEDS等探测器接口

最大样品尺寸

Φ90mm    x 30mmH

工作距离

0-20mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600960X7201024x7681600x1200、最大3200x2400像素

图像格式

JPGTIFFbmpPNG

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统(真空闸板阀、电磁阀

-高真空优于9x10E-3pa  高真空时间小于3分钟           

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   象散、电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中

软件系统

基于Win8Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

400(Wx500Dx 580Hmm /70kg

电源

单相交流 220V 50Hz1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

30KV加速电压 | 四位可变物镜光阑 |样品室摄相机 | 低真空模式 | 升级LaB6/CeB6阴极 |3D重构成像软件 | 一体化能谱系统 CubeX | 升级双探测器Cube plus


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