GENESIS-I型(500plus)分析型扫描电镜

GENESIS-I型(500plus)分析型扫描电镜

添加时间:2016-11-28 11:51:00

驰奔-电镜工匠【Electron Microscope Craftsman】
     第二代扫描电镜
             Genesis-I型 500
    全数字化控制,专业级钨丝枪扫描电镜。GENESIS-500起源,是其他型号之母,EM工匠开山之作,接配专业EDS,满足精准快速获得微区化学成分;
    采用简单的圆柱型样品仓结构,手动样品台,一款经济实用分析型扫描电镜。+标配背散射电子探测器,低真空环境直接观察绝缘样品。



技术特征:

  • 全数字化专业入门级扫描电镜;

  • 五轴手动样品台,更经济;

  • 优中心样品台,方便原位观察分析;

  • 接配可伸缩探测器,拓展专业EDS配置,也可拓展WDS,EBSD等专业微区分析附件;

  • 高速涡轮分子泵真空系统,可随时开关机,不影响抽速;

  • 标配Bse探测器,可在低真空环境下直接观察组织绝缘细泡等绝缘样品;

  • 多种用户友好功能,如一键成像、远程诊断、自动拍照等。

 

产品结构简图



允许多种探测器接配


多工位,五轴优中心样品台
  

操作软件,实时灰度直方图显示,高信噪比快速成像。


展会现场操作演示



安装示意:占地面积和台式扫描电镜相当


技术规格

型号

Genesis-500plus低真空分析型扫描电镜

样品台

五轴优中心,全手动

X: 40mm

Y: 40mm

Z: 5-45mm

R: 360°无限

T: -20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV (最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪

功率:5.7W)

探测器

ET-SED,Solid state BSED

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( Se Image)  5nm@30KV (Bse Image)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

Se、Bse、EDS等探测器接口

最大样品尺寸

Φ96mm X 50mm

工作距离

0-45mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、

最大3200x2400像素

动态聚焦,倾斜补偿

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空  10-100Pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间

小于3分钟)

-涡轮分子泵      
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,

物镜光阑摇摆对中, 自动照相,自动大图拼接缝合

软件系统

基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度

面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪| WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |

电子束曝光装置

上一个:GENESIS-500A 自动分析型扫描电镜(停产)

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