GENESIS-500plus低真空分析型扫描电镜

GENESIS-500plus低真空分析型扫描电镜

添加时间:2016-11-28 11:51:00

【简介】

驰奔-E系列热发射扫描电镜产品,包含CUBE、GENESIS、VERITAS三种规格,采用统一的优良电子光学技术,具有相同的分辨率性能和图像质量,涵盖市场用户各种配置需求。电子枪均可升级为亮度提高10倍的更高级的电子枪,实现纳米尺度形貌快速表征。样品台均采用先进优中心结构,让倾斜/复位不再困难


GENESIS扫描电子显微镜,体积小重量轻,标准配置五轴优中心样品台,样品室可同时接配二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、X射线能谱(EDS)等探测器或附件,可拓展波谱仪(WDS)、电子背散射衍射(EBSD)、阴极荧光(CL)附件。是一款小巧、功能强大的电子显微分析平台。


GENESIS-500Mplus重要特征是可直接观察表面绝缘样品,更加鲜明的成分反差成,进行能谱分析避免重金属导电膜对x射线吸收,避免镀金,蒸碳热损伤。


【主要特点】


 ● 专门的经济型、拓展强大的小型立式扫描电镜

 ●高分辨成像能力,满足纳米尺度快速形貌表征

 ● 体型小巧,节约空间,可随时移动。

 ● 可接配所有规格及高性能EDS,具有大型扫描电镜的分析效果

 ● 优中心样品台、可轻易实现立体对图像采集,重构3D形貌像。



【适用范围】:

     扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。先进的电子光学性能,满足客户从几倍到几十万倍的快速观察分析,不但具有强大的图像处理分析功能,还能广泛连接各种标准或者非标准探测器,拓展成为可靠的分析型电镜,实现用户对材料的全方位微观分析。Genesis-500Mplus 适合电绝缘样品直接观察分析


安装示意】


【性能指标】

型号

Genesis-500plus低真空分析型扫描电镜

样品台

五轴优中心,全手动

X: 40mm

Y: 40mm

Z: 5-45mm

R: 360°无限

T: -20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV (最大发射电流190μA @ 30KV/最大电子枪

功率:5.7W)

探测器

ET-SED,Solid state BSED

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( Se Image)  5nm@30KV (Bse Image)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

内径φ150mm,Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口

最大样品尺寸

Φ96mm X 50mm

工作距离

0-45mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、

最大3200x2400像素

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空  10-100Pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间

小于3分钟)

-涡轮分子泵      
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,

物镜光阑摇摆对中,动态聚焦

软件系统

基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度

面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪| WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |

电子束曝光装置



上一个:GENESIS-500A 自动分析型扫描电镜

本网站由阿里云提供云计算及安全服务 Powered by CloudDream