VERITAS-300plus大样品仓扫描电镜

VERITAS-300plus大样品仓扫描电镜

添加时间:2016-11-28 13:33:00

驰奔-电镜工匠【Electron Microscope Craftsman】
第二代钨丝枪系列扫描电镜
VERITAS-300plus大型样品仓扫描电镜

    全数字化控制,专业级扫描电镜。采用大型立方体样品分析室(分析室可定制),全内置五轴优中心自动样品台,为大块样品如零部件整体检测,为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。300PLus:BSE探测器,成分反差成像,低真空环境模式。


技术特征:

 ● 全数字专业级、拓展能力极强的大型样品仓扫描电镜

 ● 高分辨成像能力,满足微米亚微米尺度形貌及化学成分衬度快速表征;

 ● 五轴全自动优中心样品台,原位观察,大批量分析测试,高效率;

 ● 低真空环境绝缘体可直接观察

 ● 一体化设计,可随时移动。


结构原理示意图

    

大型样品仓


安装示意


性能指标:


型号

Veritas-300plus大型分析扫描电镜

样品台

五轴优中心,计算导航,五轴全自动控制

X: 120mm 

Y:  120mm

Z: 5-65mm

R: 360°无限

T: -20°~90°

电子枪

预对中钨灯丝 三极自动偏压

加速电压

200V-30KV 

探测器

ET-SED,Solid State Bse detector

物镜光阑

20μm  20μm  50μm 100μm  四位可变光阑

分辨率

4nm @30KV ( SEI)

放大倍数

10-300,000 X

样品室

内部尺寸 230(W)x210(D)x260(H)mm ,Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口

最大样品尺寸

Φ210mm X 65mm

工作距离

0-65mm 

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素

动态聚焦,倾斜补偿

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空模式

高真空优于9x10-3Pa

低真空  10-230pa

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)

-涡轮分子泵      
-旋片式机械真空泵    
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等    

自动功能

亮度/对比度, 聚焦,   电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,动态聚焦

软件系统

基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

800(W)x825(D)x 1500(H)mm /200kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具

可选配置

四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置

     

上一个:Genesis-II型(510)分析型扫描电镜

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