Cube-200桌面台式扫描电镜

Cube-200桌面台式扫描电镜

添加时间:2018-05-08 22:19:00

驰奔-EM工匠 (Electron Microscope Craftsman

第二代电镜

Cube-200台式扫描电镜


    驰奔-EM工匠,系列扫描电镜产品进入第二代,CUBE-200型桌面台式电镜,是全数字化控制,专业级扫描电镜。配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图,进而可拓展成分分析探测器,进行微观化学成分鉴定。在固定模式下,Cube-200也是一款高效率的成像检测设备。


特征:


  • 高性能电子光学系统,全数字化专业型扫描电镜

  • 标配SE探测器,选配BSE探测器 

  • 可选配低真空模式(绝缘样品直接观察)  

  • 可装配内置EDS

  • 三轴自动样品台(XYZ),大行程。可选五轴优中心样品台

  • 弹簧橡胶隔振系统

  • 高度集成,散热良好,高可靠


       400X400X580mm      65kg


性能指标


型号

Cube-200

桌面台式电镜

样品台

XYZ三轴自动,其他手动
-X: 45mm            (自动)
-Y: 45mm            (自动)
-R: 360°无限        (电旋转)
-Z: 5-50mm           (自动)
-T: ±90°           (手动)

电子枪

预对中钨灯丝,三极自动偏压,偏压与加速电压关联

加速电压

200V-30KV ,数字化高压电源,连续可调

探测器

E-T型-SE detector,


半导体固体BSE detector(选购)

物镜光阑

四孔位可变光阑,20~100μm

分辨率


5nm @30KV  Se Image

  8nm@30KVBse Image

放大倍数

20x-300,000 x

样品室

Se、Bse、EDS探测器接口, 4个其他接口

最大样品尺寸

Φ90mm  x 45mm(H)

工作距离

0-48mm

扫描光栅运动

电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°

扫描模式

聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变

TV模式:800x 600像素 

慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。

照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素

高级扫描动态聚焦,倾斜补偿,自动照相存储

图像格式

JPG、TIFF、bmp、PNG

真空系统

全自动真空系统,真空高压连锁安全保护

-涡轮分子泵    

-旋片式机械真空泵

-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等

-高真空优于7.5x10-3Pa  (从大气到达高真空小于3分钟)

-低真空模式 10-230Pa  (选配)

自动功能

亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相存储

软件系统

基于Win10,Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。

主机尺寸/重量

400(W)x400(D)x 580(H)mm /65kg

电源

单相交流 220V 、50Hz、1KW

耗材附件

预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,专用工具


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